Kiekkomittausjärjestelmän kehitys puolijohdekomponenttien valmistusprosessiin

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.authorSalonen, Jaakko
dc.contributor.departmentSähkötekniikan osastofi
dc.contributor.schoolTeknillinen korkeakoulufi
dc.contributor.schoolHelsinki University of Technologyen
dc.date.accessioned2020-12-02T14:10:39Z
dc.date.available2020-12-02T14:10:39Z
dc.date.issued1982 
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/73683
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-2020120232522
dc.language.isofien
dc.programme.majorElektronifysiikkafi
dc.programme.mcode01.69fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.titleKiekkomittausjärjestelmän kehitys puolijohdekomponenttien valmistusprosessiinfi
dc.type.okmG2 Pro gradu, diplomityö 
dc.type.ontasotMaster's thesisen
dc.type.ontasotPro gradu -tutkielmafi
dc.type.publicationmasterThesis 
local.aalto.idinssi512
local.aalto.openaccessno

Files

Collections

[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK