Evaluation of the Coating Materials for Silicon Micromachined Accelerometer

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorLaaksonen, Senni 
dc.contributor.authorSmolander, Salla
dc.contributor.departmentMateriaali- ja kalliotekniikan osastofi
dc.contributor.schoolTeknillinen korkeakoulufi
dc.contributor.schoolHelsinki University of Technologyen
dc.contributor.supervisorKivilahti, Jorma 
dc.date.accessioned2020-12-04T16:20:45Z
dc.date.available2020-12-04T16:20:45Z
dc.date.issued2003 
dc.format.extent94 s. + liitt. 40 
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/91373
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-2020120450208
dc.language.isofien
dc.programme.majorElektroniikan valmistustekniikkafi
dc.programme.mcodeS-113fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.subject.keywordMEMSen
dc.subject.keywordkiihtyvyysanturifi
dc.subject.keywordaccelerometeren
dc.subject.keywordkulmatarkka pinnoitefi
dc.subject.keywordconformal coatingen
dc.subject.keywordympäristötestifi
dc.subject.keywordenvironmental testen
dc.titleEvaluation of the Coating Materials for Silicon Micromachined Accelerometeren
dc.titlePiimikromekaanisen kiihtyvyysanturin suojamateriaalien evaluointifi
dc.type.okmG2 Pro gradu, diplomityö 
dc.type.ontasotMaster's thesisen
dc.type.ontasotPro gradu -tutkielmafi
dc.type.publicationmasterThesis 
local.aalto.digiauthask
local.aalto.digifolderAalto_37625
local.aalto.idinssi21333
local.aalto.inssilocationP1 Ark S80
local.aalto.openaccessno

Files

Collections

[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK