Piimikromekaanisen kiihtyvyysanturin suojamateriaalien evaluointi
No Thumbnail Available
URL
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Helsinki University of Technology |
Diplomityö
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Instructions for the author
Authors
Date
2003
Department
Major/Subject
Elektroniikan valmistustekniikka
Mcode
S-113
Degree programme
Language
fi
Pages
94 s. + liitt. 40
Series
Description
Supervisor
Kivilahti, JormaThesis advisor
Laaksonen, SenniKeywords
MEMS, kiihtyvyysanturi, accelerometer, kulmatarkka pinnoite, conformal coating, ympäristötesti, environmental test