Rigorous Analysis and Characterisation of Continuous Profile Diffraction Gratings

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorKallioninemi, Ilkka 
dc.contributor.advisorSaarinen, Jyrki 
dc.contributor.authorHuttunen, Anu
dc.contributor.departmentTeknillisen fysiikan ja matematiikan osastofi
dc.contributor.schoolTeknillinen korkeakoulufi
dc.contributor.schoolHelsinki University of Technologyen
dc.contributor.supervisorSalomaa, Martti M. 
dc.date.accessioned2020-12-03T23:55:20Z
dc.date.available2020-12-03T23:55:20Z
dc.date.issued1999 
dc.description.abstractDiffraktiiviset elementit ovat mikrorakenteita, joita käytetään sähkömagneettisen säteilyn muokkaamiseen ja joiden toiminta perustuu diffraktioilmiöön. Diffraktiohilojen eli jaksollisten diffraktiivisten elementtien analyysi tarkoittaa hilasta sironneen intensiteettijakauman ennustamista, kun diffraktiohilan rakenne tiedetään. Käänteinen sirontaongelma tarkoittaa hilarakenteen päättelemistä sironneesta intensiteettijakaumasta. Käänteinen sirontaongelma ei ole yksikäsitteinen, sillä saman intensiteettijakauman voi aiheuttaa moni hilarakenne. Tässä työssä analysoidaan jatkuvaprofiilisia kolmiohiloja käyttäen tarkkaa sähkömagneettista diffraktioteoriaa sekä ratkaistaan käänteinen sirontaongelma neuroverkkojen avulla. Tarkkaa sähkömagneettista diffraktioteoriaa täytyy käyttää, koska tutkittavien hilojen periodi on aallonpituuden suuruusluokkaa. Analyysin tulokset käytetään neuroverkon opettamiseen. Neuroverkko ennustaa hilan funktionaalisen rakenteen, kun sille annetaan hilaa vastaavat diffraktiohyötysuhteet. Käänteinen sirontaongelma pystytään ratkaisemaan useille jatkuvaprofiilisille hiloille, mitä ei ole tehty aikaisemmin. Täten työn tulokset osoittavat, että käänteinen sirontaongelma pystytään ratkaisemaan jatkuvaprofiilisille hiloille neuroverkkojen avulla. Työssä käytettyä menetelmää käänteisen sirontaongelman ratkaisemiseksi voidaan hyödyntää optisessa skatterometriassa. Diffraktiohilasta sironnut intensiteettijakauma mitataan ja diffraktiohila karakterisoidaan neuroverkkojen avulla. Optista skatterometriaa hyödynnetään mikro-optiikassa ja mikroelektroniikassa käytettävien komponenttien valmistusvirheiden havaitsemiseen.fi
dc.format.extent83 
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/87601
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-2020120446439
dc.language.isoenen
dc.programme.majorMateriaalifysiikkafi
dc.programme.mcodeTfy-44fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.subject.keywordAvainsanat suomeksi: Avainsanat englanniksi:en
dc.subject.keyworddiffraktiohilatfi
dc.subject.keyworddiffraction gratingsen
dc.subject.keywordtarkka sähkömagneettinen teoriafi
dc.subject.keywordrigorous diffraction theoryen
dc.subject.keywordkäänteinen diffraktio-ongelmafi
dc.subject.keywordinverse diffraction problemen
dc.subject.keywordneuroverkotfi
dc.subject.keywordneural networksen
dc.subject.keywordoptinen skatterometriafi
dc.subject.keywordoptical scatterometryen
dc.titleRigorous Analysis and Characterisation of Continuous Profile Diffraction Gratingsen
dc.titleJatkuvaprofiilisten diffraktiohilojen tarkkaan sähkömagneettiseen teoriaan perustuva analyysi ja karakterisointifi
dc.type.okmG2 Pro gradu, diplomityö 
dc.type.ontasotMaster's thesisen
dc.type.ontasotPro gradu -tutkielmafi
dc.type.publicationmasterThesis 
local.aalto.digiauthask
local.aalto.digifolderAalto_40737
local.aalto.idinssi15083
local.aalto.openaccessno

Files

Collections

[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK