Atomikerroskasvatus
dc.contributor | Aalto-yliopisto | fi |
dc.contributor | Aalto University | en |
dc.contributor.advisor | Pyymaki Perros, Alexander | |
dc.contributor.author | Palmumäki, Pirkka-Ilari | |
dc.contributor.school | Sähkötekniikan korkeakoulu | fi |
dc.contributor.supervisor | Turunen, Markus | |
dc.date.accessioned | 2014-01-08T11:42:12Z | |
dc.date.available | 2014-01-08T11:42:12Z | |
dc.date.issued | 2014-01-04 | |
dc.format.extent | 21 | |
dc.format.mimetype | application/pdf | en |
dc.identifier.uri | https://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/11982 | |
dc.identifier.urn | URN:NBN:fi:aalto-201401091063 | |
dc.language.iso | fi | en |
dc.programme | Elektroniikka ja sähkötekniikka EST | fi |
dc.programme.major | Sähkötekniikka | fi |
dc.programme.mcode | S3026 | fi |
dc.subject.keyword | atomikerroskasvatus | fi |
dc.subject.keyword | ald | fi |
dc.subject.keyword | peald | fi |
dc.subject.keyword | alumiinioksidi | fi |
dc.subject.keyword | ald-sovellukset | fi |
dc.title | Atomikerroskasvatus | fi |
dc.type | G1 Kandidaatintyö | fi |
dc.type.dcmitype | text | en |
dc.type.ontasot | Bachelor's thesis | en |
dc.type.ontasot | Kandidaatintyö | fi |