Fabrication of thermally insulated micromechanical structures
No Thumbnail Available
URL
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Helsinki University of Technology |
Diplomityö
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Instructions for the author
Authors
Date
2004
Department
Major/Subject
Elektronifysiikka
Mcode
S-69
Degree programme
Language
en
Pages
vii + 66 s. + liitt. 9
Series
Abstract
Tässä työssä on valmistettu radiotaajuinen tehosensori. Työssä tutkittiin jännitysvapaan kromin kasvatusta sputterointilaitteella ja piinitridin kasvatusta matalan paineen kaasufaasimenetelmällä, tarkoituksena valmistaa itsekantavia rakenteita. Jännitysvapaan piinitridi ja kromi prosesseilla valmistettiin piinitridi siltoja ja piinitridin ja kromin kerrosrakenteisia siltoja. Lopullinen teho sensori tehtiin kuitenkin eristävän SU-8 kalvon päälle, koska sen valmistaminen oli helpompaa. Kromin ja piinitridin jännityksiä mitattiin jännitysanalysaattorilla ja ohutkalvojen jännitykset minimoitiin lämpötilan, paineen ja sähkötehon avulla sputteroinnissa ja lämpötilan, paineen ja kaasujen virtaussuhteen avulla kaasufaasikasvatuksessa. Plasma-aktivoitu kaasufaasikasvatettuja piidioksidi ja piinitridi kalvojen soveltuvuutta syövytysmaskeiksi tutkittiin tetrametyyliammoniumhydroksidi (TMAH) syövytyksellä. Sputteroidun kromin neliöresistanssi mitattiin neljäpistemenetelmällä ja haluttuun neliöresistanssiin päästiin sputterointi aikaa muuttamalla. Vastusanturi kalibroitiin elekronisen lämpölevyn ja nelipistemittarin avulla. Lopuksi teho sensorit sahattiin puolijohdesiruiksi ja anturisirun päälle liimattiin kansisiru kaksikomponentti liimalla.Description
Supervisor
Kuivalainen, PekkaThesis advisor
Franssila, SamiKeywords
Bolometer, vastusanturi, thermally insulated structures, termisesti eristetyt rakenteet, free-standing structures, itsekantavat rakenteet, silicon-rich silicon nitride, piirikaspiinitridi, SU-8