Huokoinen pii pyromems materiaalina

School of Chemical Engineering | Master's thesis

Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author

Authors

Asikainen, Sampsa

Date

Department

Kemian ja materiaalitieteiden tiedekunta

Major/Subject

Elektronifysiikka

Mcode

S-69

Language

fi

Pages

vii + 57 + [9]

Supervisor

Franssila, Sami

Thesis advisor

Grigoras, Kestas

Keywords

porous silicon, huokoinen pii, PyroMEMS, PyroMEMS, electrochemical etching of silicon, piin sähkökemiallinen etsaus, nanoenergetics, nanoenergetiikka

Permanent link to this item

https://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-2020122357950

Collections

[dipl] Kemian tekniikan korkeakoulu / CHEM

Show all metadata