Control of an Interferometrically Traceable Metrology Atomic Force Microscope for MIKES

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorLassila, Antti 
dc.contributor.authorSeppä, Jeremias
dc.contributor.departmentTietotekniikan osastofi
dc.contributor.schoolTeknillinen korkeakoulufi
dc.contributor.schoolHelsinki University of Technologyen
dc.contributor.supervisorOja, Erkki 
dc.date.accessioned2020-12-05T10:54:44Z
dc.date.available2020-12-05T10:54:44Z
dc.date.issued2007 
dc.description.abstractPyyhkäisymikroskooppien (SPM) kalibrointi vaatii kalibroituja siirtonormaaleja. Joidenkin maiden kansalliset metrologiainstituutit ovat jo rakentaneet laserinterferometrisiä metrologisia atomivoimamikroskooppeja nanometrologisten siirtonormaalien kalibrointiin. Tässä työssä rakennetaan säätöjärjestelmä, mittausohjelmisto ja käyttöliittymä Mittatekniikan keskuksessa (MIKES) kehitetylle 3-D -interferometriselle atomivoimamikroskoopille. Järjestelmä on kehitetty sekä siirtonormaalien kalibrointiin tarjoten jäljitettävyyden metrin määritelmästä siirtonormaaleilla kalibroituihin pyyhkäisymikroskooppeihin, että nanometrologiseen tutkimukseen. Työssä tutkitaan laitteiston koordinaattijärjestelmien, sensorien ja aktuaattoreiden suhteita ja epäideaalisuuksia, ja tämän tiedon pohjalta rakennetaan säätö- ja mittausjärjestelmä joka koostuu ohjelmistosta ja elektroniikasta. Järjestelmän suorituskykyä tutkitaan lähinnä säätösilmukoiden ja mittausnopeuden kannalta.fi
dc.format.extentxi + 54 
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/94899
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-2020120553733
dc.language.isoenen
dc.programme.majorInformaatiotekniikkafi
dc.programme.mcodeT-61fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.subject.keywordSPMen
dc.subject.keywordSPMfi
dc.subject.keywordnanometrologyen
dc.subject.keywordnanometrologiafi
dc.subject.keywordlaseren
dc.subject.keywordlaserfi
dc.subject.keywordinterferometryen
dc.subject.keywordinterferometriafi
dc.subject.keywordcontrolen
dc.subject.keywordsäätöfi
dc.subject.keywordmicroscopyen
dc.subject.keywordmikroskopiafi
dc.subject.keywordmetrologyen
dc.subject.keywordmetrologiafi
dc.subject.keywordtraceabilityen
dc.subject.keywordjäljitettävyysfi
dc.subject.keywordpiezoen
dc.subject.keywordpietsofi
dc.subject.keywordmeasurementen
dc.subject.keywordmittausfi
dc.subject.keywordAFMen
dc.subject.keywordAFMfi
dc.titleControl of an Interferometrically Traceable Metrology Atomic Force Microscope for MIKESen
dc.titleInterferometrisesti jäljitettävän metrologisen atomivoimamikroskoopin ohjausfi
dc.type.okmG2 Pro gradu, diplomityö 
dc.type.ontasotMaster's thesisen
dc.type.ontasotPro gradu -tutkielmafi
dc.type.publicationmasterThesis 
local.aalto.digiauthask
local.aalto.digifolderAalto_11389
local.aalto.idinssi34753
local.aalto.openaccessno

Files

Collections

[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK