Control of an Interferometrically Traceable Metrology Atomic Force Microscope for MIKES

Thumbnail Image

URL

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Helsinki University of Technology | Master's thesis
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Location:
P1 Ark Aalto

Authors

Date

2007

Department

Tietotekniikan osasto

Major/Subject

Informaatiotekniikka

Mcode

T-61

Degree programme

Language

en

Pages

xi + 54

Series

Abstract

Pyyhkäisymikroskooppien (SPM) kalibrointi vaatii kalibroituja siirtonormaaleja. Joidenkin maiden kansalliset metrologiainstituutit ovat jo rakentaneet laserinterferometrisiä metrologisia atomivoimamikroskooppeja nanometrologisten siirtonormaalien kalibrointiin. Tässä työssä rakennetaan säätöjärjestelmä, mittausohjelmisto ja käyttöliittymä Mittatekniikan keskuksessa (MIKES) kehitetylle 3-D -interferometriselle atomivoimamikroskoopille. Järjestelmä on kehitetty sekä siirtonormaalien kalibrointiin tarjoten jäljitettävyyden metrin määritelmästä siirtonormaaleilla kalibroituihin pyyhkäisymikroskooppeihin, että nanometrologiseen tutkimukseen. Työssä tutkitaan laitteiston koordinaattijärjestelmien, sensorien ja aktuaattoreiden suhteita ja epäideaalisuuksia, ja tämän tiedon pohjalta rakennetaan säätö- ja mittausjärjestelmä joka koostuu ohjelmistosta ja elektroniikasta. Järjestelmän suorituskykyä tutkitaan lähinnä säätösilmukoiden ja mittausnopeuden kannalta.

Description

Supervisor

Oja, Erkki

Thesis advisor

Lassila, Antti

Keywords

SPM, SPM, nanometrology, nanometrologia, laser, laser, interferometry, interferometria, control, säätö, microscopy, mikroskopia, metrology, metrologia, traceability, jäljitettävyys, piezo, pietso, measurement, mittaus, AFM, AFM

Other note

Citation

Permanent link to this item

https://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-2020120553733

Collections

[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK