Control of an Interferometrically Traceable Metrology Atomic Force Microscope for MIKES

No Thumbnail Available
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Helsinki University of Technology | Diplomityö
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Date
2007
Major/Subject
Informaatiotekniikka
Mcode
T-61
Degree programme
Language
en
Pages
xi + 54
Series
Abstract
Pyyhkäisymikroskooppien (SPM) kalibrointi vaatii kalibroituja siirtonormaaleja. Joidenkin maiden kansalliset metrologiainstituutit ovat jo rakentaneet laserinterferometrisiä metrologisia atomivoimamikroskooppeja nanometrologisten siirtonormaalien kalibrointiin. Tässä työssä rakennetaan säätöjärjestelmä, mittausohjelmisto ja käyttöliittymä Mittatekniikan keskuksessa (MIKES) kehitetylle 3-D -interferometriselle atomivoimamikroskoopille. Järjestelmä on kehitetty sekä siirtonormaalien kalibrointiin tarjoten jäljitettävyyden metrin määritelmästä siirtonormaaleilla kalibroituihin pyyhkäisymikroskooppeihin, että nanometrologiseen tutkimukseen. Työssä tutkitaan laitteiston koordinaattijärjestelmien, sensorien ja aktuaattoreiden suhteita ja epäideaalisuuksia, ja tämän tiedon pohjalta rakennetaan säätö- ja mittausjärjestelmä joka koostuu ohjelmistosta ja elektroniikasta. Järjestelmän suorituskykyä tutkitaan lähinnä säätösilmukoiden ja mittausnopeuden kannalta.
Description
Supervisor
Oja, Erkki
Thesis advisor
Lassila, Antti
Keywords
SPM, SPM, nanometrology, nanometrologia, laser, laser, interferometry, interferometria, control, säätö, microscopy, mikroskopia, metrology, metrologia, traceability, jäljitettävyys, piezo, pietso, measurement, mittaus, AFM, AFM
Other note
Citation