Monikiteisten piiohutkalvojen haurastuminen korrodoivassa ympäristössä

No Thumbnail Available
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Sähkötekniikan korkeakoulu | Master's thesis
Date
2013-11-18
Department
Major/Subject
Elektroniikan integrointi ja luotettavuus
Mcode
S-113
Degree programme
EST - Elektroniikka ja sähkötekniikka
Language
en
Pages
90+7
Series
Description
Supervisor
Paulasto-Kröckel, Mervi
Thesis advisor
Mattila, Toni
Keywords
polysilicon, silicon nitride, MEMS, embrittlement, thin film, reliability testing, nanoindentation, TEM, XPS
Other note
Citation