Nanopainatuslitografia

dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorSopanen, Markku
dc.contributor.authorLehikoinen, Ilona
dc.contributor.schoolSähkötekniikan korkeakoulufi
dc.contributor.supervisorTurunen, Markus
dc.date.accessioned2015-06-24T06:24:09Z
dc.date.available2015-06-24T06:24:09Z
dc.date.issued2015-05-28
dc.format.extent24
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/16797
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-201506303335
dc.language.isofien
dc.programmeElektroniikka ja sähkötekniikka ESTfi
dc.programme.majorSähkötekniikkafi
dc.programme.mcodeS3026fi
dc.subject.keywordnanopainatuslitografiafi
dc.subject.keywordmuottifi
dc.subject.keywordresistifi
dc.subject.keywordsubstraattifi
dc.titleNanopainatuslitografiafi
dc.typeG1 Kandidaatintyöfi
dc.type.dcmitypetexten
dc.type.ontasotBachelor's thesisen
dc.type.ontasotKandidaatintyöfi
Files