Urasahattujen piikiekkojen lasitusprosessi mikromekaanisten antureiden valmistuksessa

Thumbnail Image

URL

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Helsinki University of Technology | Master's thesis
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Location:
P1 Ark V80

Authors

Date

2001

Department

Materiaali- ja kalliotekniikan osasto

Major/Subject

Elektroniikan valmistustekniikka

Mcode

S-113

Degree programme

Language

fi

Pages

ix + 101 s. + liitt. 9

Series

Description

Supervisor

Kivilahti, Jorma

Thesis advisor

Mutikainen, Risto

Keywords

micromechanical, mikromekaaninen, glass, lasi, vertical glass insulation layer, pystysuora lasieriste, viscosity, viskositeetti, viscous flow, viskoosi virtaus, melting, sulatus, silicon-glass seals, pii-lasi-liitos, Sol-Gel

Other note

Citation

Permanent link to this item

https://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-2020120448301

Collections

[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK