Uusi menetelmä MEMS-mikrofonien luotettavuuskarakterisointiin - tapaustutkimus korrodoivista ympäristöistä

Thumbnail Image

URL

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

School of Electrical Engineering | Master's thesis
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author

Authors

Date

2012

Department

Elektroniikan laitos

Major/Subject

Elektroniikan valmistustekniikka

Mcode

S-113

Degree programme

Language

fi

Pages

ix + 92 s. + liitt. 8

Series

Description

Supervisor

Paulasto-Kröckel, Mervi

Thesis advisor

Mattila, Toni

Keywords

capacitive MEMS microphone, kapasitiivinen MEMS-mikrofoni, reliability, luotettavuus, mixed flowing gas test, korroosiotesti, corrosion test, monikaasutesti

Other note

Citation

Permanent link to this item

https://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-2020122858935

Collections

[dipl] Sähkötekniikan korkeakoulu / ELEC