Uusi menetelmä MEMS-mikrofonien luotettavuuskarakterisointiin - tapaustutkimus korrodoivista ympäristöistä
No Thumbnail Available
URL
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
School of Electrical Engineering |
Master's thesis
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Instructions for the author
Authors
Date
2012
Department
Major/Subject
Elektroniikan valmistustekniikka
Mcode
S-113
Degree programme
Language
fi
Pages
ix + 92 s. + liitt. 8
Series
Description
Supervisor
Paulasto-Kröckel, MerviThesis advisor
Mattila, ToniKeywords
capacitive MEMS microphone, kapasitiivinen MEMS-mikrofoni, reliability, luotettavuus, mixed flowing gas test, korroosiotesti, corrosion test, monikaasutesti