Puolijohdekomponenttien ja -materiaalien sähköinen karakterisointi pyyhkäisyelektronimikroskooppia käyttäen

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorRonkainen, Hannu 
dc.contributor.authorLeinonen, Kari
dc.contributor.departmentSähkötekniikan osastofi
dc.contributor.schoolTeknillinen korkeakoulufi
dc.contributor.schoolHelsinki University of Technologyen
dc.contributor.supervisorSinkkonen, Juha 
dc.date.accessioned2020-12-02T15:57:08Z
dc.date.available2020-12-02T15:57:08Z
dc.date.issued1983 
dc.format.extent125 
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/75204
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-2020120234043
dc.language.isofien
dc.programme.majorElektronifysiikkafi
dc.programme.mcode01.69fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.subject.keywordpyyhkäisyelektronimikroskooppifi
dc.subject.keywordjännitekontrastifi
dc.subject.keyworddiffuusiopitoisuusfi
dc.subject.keywordkidevirheetfi
dc.subject.keywordISOCMOSfi
dc.titlePuolijohdekomponenttien ja -materiaalien sähköinen karakterisointi pyyhkäisyelektronimikroskooppia käyttäenfi
dc.type.okmG2 Pro gradu, diplomityö 
dc.type.ontasotMaster's thesisen
dc.type.ontasotPro gradu -tutkielmafi
dc.type.publicationmasterThesis 
local.aalto.digiauthask
local.aalto.digifolderAalto_35689
local.aalto.idinssi1092
local.aalto.openaccessno

Files

Collections

[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK