Puolijohdekomponenttien ja -materiaalien sähköinen karakterisointi pyyhkäisyelektronimikroskooppia käyttäen
No Thumbnail Available
URL
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Helsinki University of Technology |
Diplomityö
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Instructions for the author
Authors
Date
1983
Department
Major/Subject
Elektronifysiikka
Mcode
01.69
Degree programme
Language
fi
Pages
125
Series
Description
Supervisor
Sinkkonen, JuhaThesis advisor
Ronkainen, HannuKeywords
pyyhkäisyelektronimikroskooppi, jännitekontrasti, diffuusiopitoisuus, kidevirheet, ISOCMOS