Kalvoresistien käyttö MEMS-rakenteiden valmistuksessa

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorFranssila, Sami
dc.contributor.authorJärvelin, Jonna
dc.contributor.schoolKemiantekniikan korkeakoulufi
dc.contributor.supervisorKontturi, Eero
dc.date.accessioned2024-07-30T08:12:03Z
dc.date.available2024-07-30T08:12:03Z
dc.date.issued2024-05-04
dc.description.abstractTässä kandidaatintyössä käsitellään kalvoresistien käyttöä MEMS-rakenteiden valmistuksessa nestemäisiin resisteihin verrattuna. Työssä esitellään resistiteknologian perusteet, kuten fotolitografisen prosessin vaiheet sekä fotoresistien kemiallinen perusta, sekä erilaisten mikrorakenteiden valmistus kalvoresistejä ja nestemäisiä resistejä hyödyntäen. Työ on kirjallisuuskatsaus. Kalvoresistit tarjoavat huomattavaa etua nestemäisiin resisteihin verrattuna erityisesti kuvioitujen pintojen päälle pinnoitettaessa, sillä kalvoresisti ei esimerkiksi täytä alapuolista kuviointia kuten nestemäinen fotoresisti. Kalvoresistien käyttö poistaa myös tarpeen uhrikerroksille. Kalvoresisteillä saatavien rakenteiden muotosuhteet ovat kuitenkin pienempiä kuin nestemäisillä resisteillä saatavien rakenteiden, lisäksi kalvoresisteihin liittyy mekaaniseen kestävyyteen liittyviä ongelmia erityisesti leveiden kuvioiden yli laminoitaessa. Kalvoresisteillä on potentiaalia helpottaa MEMS-rakenteiden valmistusprosesseja, ja niillä on kiistämättömät etunsa esimerkiksi substraatittomien rakenteiden valmistuksessa. Nestemäisiin resisteihin verrattuna kalvoresistien kaikki ominaisuudet eivät kuitenkaan ole vielä riittävän hyviä syrjäyttääkseen nestemäisiä resistejä täysin MEMS-rakenteiden valmistuksessa.fi
dc.format.extent29
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/129554
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-202407305136
dc.language.isofien
dc.programmeKemiantekniikan kandidaattiohjelmafi
dc.programme.majorKemia ja materiaalitiedefi
dc.programme.mcodeCHEM3049fi
dc.subject.keywordMEMSfi
dc.subject.keywordkalvoresistifi
dc.subject.keywordfotolitografiafi
dc.subject.keywordfotoresistifi
dc.titleKalvoresistien käyttö MEMS-rakenteiden valmistuksessafi
dc.typeG1 Kandidaatintyöfi
dc.type.dcmitypetexten
dc.type.ontasotBachelor's thesisen
dc.type.ontasotKandidaatintyöfi

Files

Original bundle

Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
Järvelin_Jonna_2024.pdf
Size:
790.26 KB
Format:
Adobe Portable Document Format

Collections

[kand] Kemian tekniikan korkeakoulu / CHEM