Kalvoresistien käyttö MEMS-rakenteiden valmistuksessa
No Thumbnail Available
Files
Järvelin_Jonna_2024.pdf (790.26 KB) (opens in new window)
Aalto login required (access for Aalto Staff only).
URL
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Kemiantekniikan korkeakoulu |
Bachelor's thesis
Electronic archive copy is available locally at the Harald Herlin Learning Centre. The staff of Aalto University has access to the electronic bachelor's theses by logging into Aaltodoc with their personal Aalto user ID. Read more about the availability of the bachelor's theses.
Unless otherwise stated, all rights belong to the author. You may download, display and print this publication for Your own personal use. Commercial use is prohibited.
Authors
Date
2024-05-04
Department
Major/Subject
Kemia ja materiaalitiede
Mcode
CHEM3049
Degree programme
Kemiantekniikan kandidaattiohjelma
Language
fi
Pages
29
Series
Abstract
Tässä kandidaatintyössä käsitellään kalvoresistien käyttöä MEMS-rakenteiden valmistuksessa nestemäisiin resisteihin verrattuna. Työssä esitellään resistiteknologian perusteet, kuten fotolitografisen prosessin vaiheet sekä fotoresistien kemiallinen perusta, sekä erilaisten mikrorakenteiden valmistus kalvoresistejä ja nestemäisiä resistejä hyödyntäen. Työ on kirjallisuuskatsaus. Kalvoresistit tarjoavat huomattavaa etua nestemäisiin resisteihin verrattuna erityisesti kuvioitujen pintojen päälle pinnoitettaessa, sillä kalvoresisti ei esimerkiksi täytä alapuolista kuviointia kuten nestemäinen fotoresisti. Kalvoresistien käyttö poistaa myös tarpeen uhrikerroksille. Kalvoresisteillä saatavien rakenteiden muotosuhteet ovat kuitenkin pienempiä kuin nestemäisillä resisteillä saatavien rakenteiden, lisäksi kalvoresisteihin liittyy mekaaniseen kestävyyteen liittyviä ongelmia erityisesti leveiden kuvioiden yli laminoitaessa. Kalvoresisteillä on potentiaalia helpottaa MEMS-rakenteiden valmistusprosesseja, ja niillä on kiistämättömät etunsa esimerkiksi substraatittomien rakenteiden valmistuksessa. Nestemäisiin resisteihin verrattuna kalvoresistien kaikki ominaisuudet eivät kuitenkaan ole vielä riittävän hyviä syrjäyttääkseen nestemäisiä resistejä täysin MEMS-rakenteiden valmistuksessa.Description
Supervisor
Kontturi, EeroThesis advisor
Franssila, SamiKeywords
MEMS, kalvoresisti, fotolitografia, fotoresisti