Epitaktisten piikerrosten karakterisointimenetelmät ja arviointi elinaikamittauksin

Helsinki University of Technology | Diplomityö

Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author

Authors

Janhunen, Marko

Date

Department

Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto

Major/Subject

Elektronifysiikka

Mcode

S-69

Language

fi

Pages

77

Supervisor

Kuivalainen, Pekka

Thesis advisor

Ahopelto, Jouni

Keywords

CVD, CVD, lifetime, elinaika, recombination, rekombinaatio, resisitivity, resistiivisyys, layer thickness, kerrospaksuus, DLTS, DLTS, crystal defect, kidevirhe

Permanent link to this item

https://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-2020120343652

Collections

[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK

Show all metadata