Vähähäviöisen RF-resonaattorin toteuttaminen piin mikromekaniikalla
No Thumbnail Available
URL
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Helsinki University of Technology |
Diplomityö
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Instructions for the author
Authors
Date
1999
Department
Major/Subject
Mittaustekniikka
Mcode
S-108
Degree programme
Language
fi
Pages
77
Series
Description
Supervisor
Tittonen, IlkkaKeywords
resonaattori, mikromekaniikka, mallinnus, elementtimenetelmä, SOI, sähkömekaaninen kytkentä, häviöt, hyvyysluku