TO5-koteloiden hermeettinen suljenta

dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorKärhä, Petri
dc.contributor.authorHuuhtanen, Markus
dc.contributor.schoolSähkötekniikan korkeakoulufi
dc.contributor.supervisorTurunen, Markus
dc.date.accessioned2016-06-21T09:12:36Z
dc.date.available2016-06-21T09:12:36Z
dc.date.issued2016-05-22
dc.format.extent41
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/21095
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-201606212706
dc.language.isofien
dc.programmeElektroniikka ja sähkötekniikka ESTfi
dc.programme.mcodeELEC3013fi
dc.subject.keywordOptinen kaasuanturifi
dc.subject.keywordInfrapuna-absorptiospektroskopiafi
dc.subject.keywordHermeettinen suljentafi
dc.subject.keywordHelium-vuototestifi
dc.titleTO5-koteloiden hermeettinen suljentafi
dc.typeG1 Kandidaatintyöfi
dc.type.dcmitypetexten
dc.type.ontasotBachelor's thesisen
dc.type.ontasotKandidaatintyöfi

Files