Microstructures from SU-8 epoxy-photoresist for micromechanics and microfluidies

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorFranssila, Sami 
dc.contributor.authorTuomikoski, Santeri
dc.contributor.departmentKemian tekniikan osastofi
dc.contributor.schoolTeknillinen korkeakoulufi
dc.contributor.schoolHelsinki University of Technologyen
dc.contributor.supervisorSeppälä, Jukka 
dc.date.accessioned2020-12-04T15:44:38Z
dc.date.available2020-12-04T15:44:38Z
dc.date.issued2003 
dc.format.extentviii + 82 s. + liitt. 26 
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/90676
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-2020120449511
dc.language.isoenen
dc.programme.majorPolymeeriteknologiafi
dc.programme.mcodeKem-100fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.titleMicrostructures from SU-8 epoxy-photoresist for micromechanics and microfluidiesen
dc.titleMikrorakenteiden valmistaminen SU-8 epoksi-fotoresistiä käyttämällä mikromekaniikan ja mikrofluidistiikan sovelluksiinfi
dc.type.okmG2 Pro gradu, diplomityö 
dc.type.ontasotMaster's thesisen
dc.type.ontasotPro gradu -tutkielmafi
dc.type.publicationmasterThesis 
local.aalto.digiauthask
local.aalto.digifolderAalto_15234
local.aalto.idinssi19638
local.aalto.openaccessno

Files

Collections

[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK