Temperature measurements in micrometre scale

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorKärhä, Petri 
dc.contributor.authorShpak, Maksim
dc.contributor.departmentElektroniikan, tietoliikenteen ja automaation tiedekuntafi
dc.contributor.schoolTeknillinen korkeakoulufi
dc.contributor.schoolHelsinki University of Technologyen
dc.contributor.supervisorIkonen, Erkki 
dc.date.accessioned2020-12-05T14:09:10Z
dc.date.available2020-12-05T14:09:10Z
dc.date.issued2008 
dc.description.abstractMikrohehkusillat ovat piistä valmistettuja, pienoiskokoisia ripustettuja rakenteita. Nämä mikrosillat säteilevät valoa, kun niiden läpi laitetaan kulkemaan sähkövirta. Niitä käytetään mm erilaisissa spektrofotometrisissä sovelluksissa kuten kaasujen analysointijärjestelmissä. Mikrosiltojen lämpötilan määrittäminen kontaktimittauksella on monimutkaista sillan pienen koon ja kontaktianturin kautta ulosjohtuvan lämmön takia. Tässä työssä on kehitetty menetelmä mikrohehkusiltojen lämpötilan määrittämiseksi mittaamalla niiden säteilyspektri. Tätä varten on rakennettu mittauslaitteisto, joka koostuu monokromaattorista, näkyvän ja lähi-infrapuna alueiden detektoreista sekä mikroskooppiobjektiiviin perustuvasta optiikasta. Lämpötilan määrittäminen säteilyspektristä on mahdollista Planckin lain avulla, jos kohteen emissiivisyys on tunnettu. Mikrohehkusilta on melko ohut ja sen takia osittain läpinäkyvä, joten se ei välttämättä käyttäydy ideaalisen harmaan kappaleen tavoin. Sen päällä on myös ohut kalvo piidioksidia, mikä aiheuttaa interferenssi-ilmiöitä. Tämän ongelman ratkaisemiseksi kehitettiin puoli-empiirinen malli, joka kuvaa ohuista kalvoista koostuvan rakenteen emissiivisyyttä. Piin optisten vakioiden ja niiden lämpötilariippuvuuden määrittämiseksi pientä palaa SOI-kiekkoa (silicon-on-insulator) mitattiin eri lämpötiloissa. Tulokset sovitettiin emissiivisyysmalliin.fi
dc.format.extent38 
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/96087
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-2020120554921
dc.language.isoenen
dc.programme.majorMittaustekniikkafi
dc.programme.mcodeS-108fi
dc.rights.accesslevelopenAccess
dc.subject.keywordmicroglowen
dc.subject.keywordmikrohehkufi
dc.subject.keywordmicrobridgeen
dc.subject.keywordmikrosiltafi
dc.subject.keywordtemperatureen
dc.subject.keywordlämpötilafi
dc.subject.keywordpyrometryen
dc.subject.keywordpyrometriafi
dc.subject.keywordemissivity modelen
dc.subject.keywordemissiivisyyden mallinnusfi
dc.subject.keywordsiliconen
dc.subject.keywordpiifi
dc.subject.keywordsilicon dioxideen
dc.subject.keywordpiidioksidifi
dc.subject.keywordrefractive indexen
dc.subject.keywordtaitekerroinfi
dc.titleTemperature measurements in micrometre scaleen
dc.titleLämpötilan mittaaminen mikrometriluokan mittakaavassafi
dc.type.okmG2 Pro gradu, diplomityö 
dc.type.ontasotMaster's thesisen
dc.type.ontasotPro gradu -tutkielmafi
dc.type.publicationmasterThesis 
local.aalto.digiauthyes
local.aalto.digifolderAalto_40268
local.aalto.idinssi36702
local.aalto.openaccessyes

Files

Original bundle

Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
master_Shpak_Maksim_2008.pdf
Size:
15.25 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Download

Collections

[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK