Electronics for Micromechanical Angular Rate Sensor

dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorManninen, Hannu
dc.contributor.authorTörmälehto, Kimmo
dc.contributor.departmentTeknillisen fysiikan ja matematiikan osastofi
dc.contributor.schoolTeknillinen korkeakoulufi
dc.contributor.schoolHelsinki University of Technologyen
dc.contributor.supervisorHalonen, Kari
dc.date.accessioned2020-12-03T20:43:32Z
dc.date.available2020-12-03T20:43:32Z
dc.date.issued1997
dc.format.extent69
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/85175
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-2020120344013
dc.language.isoenen
dc.programme.majorPiiritekniikkafi
dc.programme.mcodeS-87fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.subject.keywordmicromechanicsen
dc.subject.keywordmikromekaniikkafi
dc.subject.keywordangular rateen
dc.subject.keywordkulmanopeusfi
dc.subject.keywordsensoren
dc.subject.keywordanturifi
dc.subject.keywordcapacitiveen
dc.subject.keywordkapasitiivinenfi
dc.titleElectronics for Micromechanical Angular Rate Sensoren
dc.titleMikromekaanisen kulmanopeusanturin elektroniikkafi
dc.type.okmG2 Pro gradu, diplomityö
dc.type.ontasotMaster's thesisen
dc.type.ontasotPro gradu -tutkielmafi
dc.type.publicationmasterThesis
local.aalto.digiauthask
local.aalto.digifolderAalto_44108
local.aalto.idinssi12381
local.aalto.openaccessno

Files