Mikromekaaninen ionilähde piitä ja lasia prosessoimalla

Helsinki University of Technology | Diplomityö

Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author

Authors

Marttila, Seppo

Date

Department

Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto

Major/Subject

Mittaustekniikka

Mcode

S-108

Language

fi

Pages

ix + 83

Supervisor

Tittonen, Ilkka

Thesis advisor

Franssila, Sami

Keywords

silicon etching, piin etsaus, glass etching, lasin etsaus, wafer bonding, kiekkobondaus, mass spectrometry, massaspektrometria, APCI

Permanent link to this item

https://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-2020120450120

Collections

[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK

Show all metadata