AlxGa1-xAs-HEMT:n Valmistus ja Karakterisointi

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.authorSirén, Esko
dc.contributor.departmentSähkötekniikan osastofi
dc.contributor.schoolTeknillinen korkeakoulufi
dc.contributor.schoolHelsinki University of Technologyen
dc.contributor.supervisorSinkkonen, Juha 
dc.date.accessioned2021-04-14T14:31:26Z
dc.date.available2021-04-14T14:31:26Z
dc.date.issued1994 
dc.format.extent76 
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/105386
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-202104144676
dc.language.isofien
dc.programme.majorElektronifysiikkafi
dc.programme.mcodeS-69fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.subject.keywordGaAsen
dc.subject.keywordGaAsfi
dc.subject.keywordAlxGa1-xAsen
dc.subject.keywordAlxGa1-xAsfi
dc.subject.keywordHEMTen
dc.subject.keywordHEMTfi
dc.subject.keywordMODFETen
dc.subject.keywordMODFETfi
dc.subject.keywordTEGFETen
dc.subject.keywordTEGFETfi
dc.subject.keywordRIEen
dc.subject.keywordRIEfi
dc.subject.keyworddry etchingen
dc.subject.keywordkuivaetsausfi
dc.subject.keywordplasma etchingen
dc.subject.keywordplasmaetsausfi
dc.titleAlxGa1-xAs-HEMT:n Valmistus ja Karakterisointifi
dc.titleFabrication and Characterization of an AlxGa1-xAs-HEMTen
dc.type.okmG3 Lisensiaatintutkimus 
dc.type.ontasotLicentiate thesisen
dc.type.ontasotLisensiaatintyöfi
local.aalto.digiauthask
local.aalto.digifolderAalto_40099
local.aalto.idinssi9678
local.aalto.openaccessno

Files

Collections

[lic] Teknillinen korkeakoulu / TKK