aalto1 untyped-item.component.html

Ohutkalvoreaktorin tuoterakenteen ja valmistettavuuden kehittäminen

Loading...
Thumbnail Image

URL

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Helsinki University of Technology | Master's thesis
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Location:

Date

Mcode

Kon-41

Degree programme

Language

fi

Pages

83 + liitt.

Series

Abstract

Työn tavoitteena oli luoda keskisuurelle ohutkalvoreaktorille yksiselitteinen modulaarinen tuoterakenne, kohentaa laitteen dokumentaatiota, parantaa valmistettavuutta pienin teknisin muutoksin ja liittää reaktori yrityksen toiminnanohjausjärjestelmän piiriin. Koska työn kohdelaite soveltaa tekniikkaa, joka on monille entuudestaan vieras, luodaan työn alussa katsaus Suomessa kehitettyyn Atomic Layer Chemical Vapour Deposition-ohutkalvotekniikkaan. ALCVD-tekniikka eroaa muista käytössäolevista ohutkalvotekniikoista toisistaan erotettujen lähdeainepulssien ja pinnan kontrolloiman kasvutapahtuman ansiosta. Menetelmän esittelyn lisäksi perehdytään ALCVD-laitteistoihin ja käyttösovellutuksiin. Työn teoriaosa käsittelee tuotetietoa, sen hallintaa, erilaisia tuotetiedonhallintajärjestelmiä ja niihin olennaisena osana liittyviä tuoterakenteita. Teoriaosassa käydään lyhyesti läpi myös esimerkkiyrityksen tuotetiedon tilaa. Käytännön osuudessa saatettiin esimerkkiprojektin puitteissa reaktorin piirustuskanta ja muu dokumentointi ajan tasalle ja luotiin ohutkalvoreaktorille kattava tuoterakenne yrityksen omaan toiminnanohjausjärjestelmään. Pienet konstruktiiviset muutokset liittyivät tuotteen modulointiin. Modulointia toteutettiin lähinnä laitteen lähdejärjestelmän osalta. Aikaansaatu tuoterakenne palvelee jatkossa niin suunnittelua, tuotantoa kuin myyntiäkin. Tuoterakenteesta ei ole vielä käyttökokemuksia, mutta se luonee hyvän pohjan tuotteen läpäisyajan lyhentämiselle lähitulevaisuudessa.

Description

Supervisor

Pietola, Matti

Thesis advisor

Soininen, Pekka T.
Kesälä, Janne

Keywords

Other note

Citation

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By