aalto1 untyped-item.component.html
Ohutkalvoreaktorin tuoterakenteen ja valmistettavuuden kehittäminen
Loading...
URL
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Helsinki University of Technology |
Master's thesis
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Instructions for the author
Location:
Authors
Date
Department
Major/Subject
Mcode
Kon-41
Degree programme
Language
fi
Pages
83 + liitt.
Series
Abstract
Työn tavoitteena oli luoda keskisuurelle ohutkalvoreaktorille yksiselitteinen modulaarinen tuoterakenne, kohentaa laitteen dokumentaatiota, parantaa valmistettavuutta pienin teknisin muutoksin ja liittää reaktori yrityksen toiminnanohjausjärjestelmän piiriin.
Koska työn kohdelaite soveltaa tekniikkaa, joka on monille entuudestaan vieras, luodaan työn alussa katsaus Suomessa kehitettyyn Atomic Layer Chemical Vapour Deposition-ohutkalvotekniikkaan.
ALCVD-tekniikka eroaa muista käytössäolevista ohutkalvotekniikoista toisistaan erotettujen lähdeainepulssien ja pinnan kontrolloiman kasvutapahtuman ansiosta.
Menetelmän esittelyn lisäksi perehdytään ALCVD-laitteistoihin ja käyttösovellutuksiin.
Työn teoriaosa käsittelee tuotetietoa, sen hallintaa, erilaisia tuotetiedonhallintajärjestelmiä ja niihin olennaisena osana liittyviä tuoterakenteita.
Teoriaosassa käydään lyhyesti läpi myös esimerkkiyrityksen tuotetiedon tilaa.
Käytännön osuudessa saatettiin esimerkkiprojektin puitteissa reaktorin piirustuskanta ja muu dokumentointi ajan tasalle ja luotiin ohutkalvoreaktorille kattava tuoterakenne yrityksen omaan toiminnanohjausjärjestelmään.
Pienet konstruktiiviset muutokset liittyivät tuotteen modulointiin.
Modulointia toteutettiin lähinnä laitteen lähdejärjestelmän osalta.
Aikaansaatu tuoterakenne palvelee jatkossa niin suunnittelua, tuotantoa kuin myyntiäkin.
Tuoterakenteesta ei ole vielä käyttökokemuksia, mutta se luonee hyvän pohjan tuotteen läpäisyajan lyhentämiselle lähitulevaisuudessa.
Description
Supervisor
Pietola, MattiThesis advisor
Soininen, Pekka T.Kesälä, Janne