Metal oxide based resistive gas sensors
No Thumbnail Available
URL
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Helsinki University of Technology |
Diplomityö
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Instructions for the author
Authors
Date
2006
Major/Subject
Elektronifysiikka
Mcode
S-69
Degree programme
Language
en
Pages
118
Series
Abstract
Tässä työssä karakterisoidaan kolme kaupallista metallioksidiin perustuvaa resistiivistä kaasuanturia erilaisilla sähköisillä mittauksilla ja impedanssispektroskopialla. Kaasuherkkinä aineina toimivat rakeista koostuvat tinadioksidi- (5n02) ja wolframitrioksidikalvot (WO3). Sähköisessä karakterisoinnissa käytetään potentiaalivallia, joka kuvaa sähkön johtumista rakeisessa aineessa. Työn toinen tavoite on etsiä kaasuantureiden optimaalisin mittaustapa. Kohdekaasuna on etanoli ilmassa (kosteusprosentti 30-40) 100 ppm:n konsentraatiolla. Kaasuherkkien kalvojen konduktanssien lämpötilariippuvuudet, ilmassa mitatut I(V)-käyrät, sekä impedanssispektroskopiatulokset ovat vallimallin mukaisia. Mittauksissa havaittiin myös, että antureiden kapasitanssia ei voida käyttää kaasun havainnointiin, koska kapasitanssit riippuvat vain heikosti kaasuympäristöstä. Impedanssispektroskopiamittauksissa havaittiin myös negatiiviselta kapasitanssilta näyttävä ilmiö. Tässä työssä löydetty optimaalisin mittaustapa on DC- tai AC-mittaus alle 2 MHz taajuudella. Antureiden yli olevan DC-jännitteen tulisi olla aina 1 V, koska kahden anturin herkkyys laskee yli 1 V:n DC-jännitteillä, ja korkea bias-jännite aiheuttaa lämpenemisestä johtuvaa epästabiilisuutta.Description
Supervisor
Sinkkonen, JuhaKeywords
gas sensors, kaasuanturit, semiconductors, puolijohteet, metal oxide, metallioksidi, barrier model, vallimalli, impedance spectroscopy, impedanssispektroskopia