Effects of crystal thermal history on oxygen precipitation in silicon wafer

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorHaimi, Eero 
dc.contributor.advisorAiraksinen, Veli-Matti 
dc.contributor.authorVanonen, Laura
dc.contributor.departmentMateriaali- ja kalliotekniikan osastofi
dc.contributor.schoolTeknillinen korkeakoulufi
dc.contributor.schoolHelsinki University of Technologyen
dc.contributor.supervisorLindroos, Veikko 
dc.date.accessioned2020-12-04T16:21:13Z
dc.date.available2020-12-04T16:21:13Z
dc.date.issued2003 
dc.format.extentviii + 62 s. + liitt. 22 
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/91382
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-2020120450217
dc.language.isofien
dc.programme.majorMetalli- ja materiaalioppifi
dc.programme.mcodeMak-45fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.subject.keywordprecipitationen
dc.subject.keyworderkautuminenfi
dc.subject.keywordsiliconen
dc.subject.keywordFTIRfi
dc.subject.keywordthermal historyen
dc.subject.keywordpiifi
dc.subject.keywordWright-etchen
dc.subject.keywordSIRMfi
dc.subject.keywordterminen historiafi
dc.subject.keywordWright-etsifi
dc.titleEffects of crystal thermal history on oxygen precipitation in silicon waferen
dc.titleKiteen termisen historian vaikutus hapen erkautumiseen piikiekossafi
dc.type.okmG2 Pro gradu, diplomityö 
dc.type.ontasotMaster's thesisen
dc.type.ontasotPro gradu -tutkielmafi
dc.type.publicationmasterThesis 
local.aalto.digiauthask
local.aalto.digifolderAalto_44431
local.aalto.idinssi24771
local.aalto.inssilocationP1 Ark V80
local.aalto.openaccessno

Files

Collections

[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK