Micromechanical actuation of mirrors

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorÄyräs, Pekka 
dc.contributor.authorJantunen, Iiro
dc.contributor.departmentTeknillisen fysiikan ja matematiikan osastofi
dc.contributor.schoolTeknillinen korkeakoulufi
dc.contributor.schoolHelsinki University of Technologyen
dc.contributor.supervisorKaivola, Matti 
dc.date.accessioned2020-12-04T13:55:27Z
dc.date.available2020-12-04T13:55:27Z
dc.date.issued2001 
dc.format.extent53 
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/89012
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-2020120447847
dc.language.isoenen
dc.programme.majorMateriaalifysiikkafi
dc.programme.mcodeTfy-44fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.subject.keywordMOEMSen
dc.subject.keywordMOEMSfi
dc.subject.keywordmicromirroren
dc.subject.keywordmikropeilitfi
dc.subject.keywordmicromechanicsen
dc.subject.keywordmikromekaniikkafi
dc.subject.keywordSOIen
dc.subject.keywordSOIfi
dc.subject.keywordoptical switchen
dc.subject.keywordoptinen kytkinfi
dc.titleMicromechanical actuation of mirrorsen
dc.titlePeilien mikromekaaninen liikuttaminenfi
dc.type.okmG2 Pro gradu, diplomityö 
dc.type.ontasotMaster's thesisen
dc.type.ontasotPro gradu -tutkielmafi
dc.type.publicationmasterThesis 
local.aalto.digiauthask
local.aalto.digifolderAalto_40583
local.aalto.idinssi17799
local.aalto.inssilocationP1 Ark TF80
local.aalto.openaccessno

Files

Collections

[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK