Z-akselin suuntaan mittaavan kapasitiivisen MEMS-kiihtyvyysanturin suunnittelu SOI-tekniikalla

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorAaltonen, Lasse 
dc.contributor.authorPärnänen, Tuomas 
dc.contributor.schoolSähkötekniikan korkeakoulufi
dc.contributor.supervisorTurunen, Markus 
dc.date.accessioned2013-04-30T06:52:19Z
dc.date.available2013-04-30T06:52:19Z
dc.date.issued2011 
dc.format.extent21 s. 
dc.format.mimetypeapplication/pdf 
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/9462
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-201305162451
dc.language.isofien
dc.programmeElektroniikan ja sähkötekniikan tutkinto-ohjelma (EST)fi
dc.programme.majorElektroniikkafi
dc.programme.mcodeS3027 
dc.subject.keywordMEMSfi
dc.subject.keywordkiihtyvyysanturifi
dc.subject.keywordkapasitiivinenfi
dc.subject.keywordz-akselifi
dc.subject.keywordSOIfi
dc.titleZ-akselin suuntaan mittaavan kapasitiivisen MEMS-kiihtyvyysanturin suunnittelu SOI-tekniikallafi
dc.typeG1 Kandidaatintyöfi
dc.type.dcmitypetexten
dc.type.ontasotKandidaatintyöfi
dc.type.ontasotBachelor's thesisen
Files
Collections
[kand] Sähkötekniikan korkeakoulu / ELEC