Mechanical behaviour of diamond-like carbon film in microsystems

dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorKilpinen, Petteri
dc.contributor.authorSiirola, Saara
dc.contributor.departmentMateriaalitekniikan laitosfi
dc.contributor.schoolKemian tekniikan korkeakoulufi
dc.contributor.schoolSchool of Chemical Engineeringen
dc.contributor.supervisorFranssila, Sami
dc.date.accessioned2020-12-28T10:43:57Z
dc.date.available2020-12-28T10:43:57Z
dc.date.issued2012
dc.format.extent76 s. + liitt. 16
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/100605
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-2020122859436
dc.language.isoenen
dc.programme.majorMateriaalitiedefi
dc.programme.mcodeMT-45fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.subject.keywordamorphous carbonen
dc.subject.keywordtimantinkaltainen hiilifi
dc.subject.keyworddiamond-like carbonen
dc.subject.keywordDLCfi
dc.subject.keywordmicrosystemsen
dc.subject.keywordMEMSfi
dc.titleMechanical behaviour of diamond-like carbon film in microsystemsen
dc.titleTimantinkaltaisen hiilipinnoitteen mekaaninen käyttäytyminen mikrosysteemeissäfi
dc.type.okmG2 Pro gradu, diplomityö
dc.type.ontasotMaster's thesisen
dc.type.ontasotPro gradu -tutkielmafi
dc.type.publicationmasterThesis
local.aalto.digiauthask
local.aalto.digifolderAalto_06896
local.aalto.idinssi50136
local.aalto.openaccessno
Files