Influence of Material and Process Parameters on the Structure of Porous Silicon

dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorHaimi, Eero
dc.contributor.authorJärvinen, Antti
dc.contributor.departmentMateriaali- ja kalliotekniikan osastofi
dc.contributor.schoolTeknillinen korkeakoulufi
dc.contributor.schoolHelsinki University of Technologyen
dc.contributor.supervisorLindroos, Veikko
dc.date.accessioned2020-12-04T13:12:31Z
dc.date.available2020-12-04T13:12:31Z
dc.date.issued2000
dc.format.extent74
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/88208
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-2020120447043
dc.language.isofien
dc.programme.majorMetalli- ja materiaalioppifi
dc.programme.mcodeMak-45fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.titleInfluence of Material and Process Parameters on the Structure of Porous Siliconen
dc.titleMateriaalin ja prosessiparametrien vaikutus huokoisen piin valmistuksessa saavutettavaan rakenteeseenfi
dc.type.okmG2 Pro gradu, diplomityö
dc.type.ontasotMaster's thesisen
dc.type.ontasotPro gradu -tutkielmafi
dc.type.publicationmasterThesis
local.aalto.digiauthask
local.aalto.digifolderAalto_43980
local.aalto.idinssi15719
local.aalto.inssilocationP1 Ark V80
local.aalto.openaccessno

Files