Tyhjiölaitteiden valmistustekniikoiden selvittäminen

Thumbnail Image

URL

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Helsinki University of Technology | Master's thesis
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Location:
P1 Ark TKK

Authors

Date

1999

Department

Konetekniikan osasto

Major/Subject

Konepajatekniikka

Mcode

Kon-15

Degree programme

Language

fi

Pages

viii + 69 s. + liitt. 6

Series

Abstract

Diplomityössä selvitettiin tyhjiölaitteiden fysiikkaa, tekniikkaa ja valmistusteknisiä erityspiirteitä. Valmistustekniikan selvittämisessä keskityttiin käytännön ongelmiin kuten tyhjiölaitteiden yleisiin suunnitteluperiaatteisiin, materiaalivalintoihin ja rakenneratkaisuihin. Tyhjiölaitteiden valmistustekniikoiden selvittäminen rajattiin vaihtelevia valmistustekniikoita sisältävien vaativien UHV-laitteiden suunnitteluun ja valmistukseen. Tyhjiölaitteiden valmistustekniikoihin perehdyttiin kirjallisuuden, laiteasiakkaiden dokumenttien ja tarjouspyyntöjen sekä vierailujen avulla. Myös VTT:llä aikaisemmin tehtyjen tyhjiölaitteiden ominaisuuksiin ja niiden valmistus- ja suunnitteluprosesseihin tutustuttiin. Näillä esitutkimuksilla selvitettiin alustavasti tyhjiölaitetarpeita, asiakkaiden vaatimuksia sekä VTT:n mahdollisuuksia osallistua tyhjiölaiteprojekteihin. Teoriassa selvitettyjä tekniikoita ja tyhjiölaitteiden valmistuksen erityispiirteitä kokeiltiin käytännön laiteprojektissa. Hiukkaskiihdyttimeen valmistettiin absorbaattori, synkrotronisäteilyn läpäisyn estävä suljin, jonka suunnittelussa ja valmistuksessa tyhjiöympäristö jouduttiin huomioimaan. Eri työnvaiheissa käytettiin hitsausmenetelmistä TIG-, plasma- ja elektronisuihkuhitsausta ja selvitettiin näiden menetelmien käyttökohteita ja soveltuvuutta erilaisiin rakenteisiin. Lisäksi kokeiltiin kovajuottamista tyhjiöuunissa tekemällä sillä tyhjiökelpoinen liitos. Työssä selvitettiin lisäksi VTT:n tyhjiölaitevalmistukseen soveltuvat työvälineet, koneet ja menetelmät. Näistä tärkeimpiä olivat tyhjiökelpoisen pesuprosessin suorittaminen sekä heliumilla tehdyt tiiveystestit.

Description

Supervisor

Kauppinen, Veijo

Thesis advisor

Viherkallio, Kai

Keywords

Other note

Citation

Permanent link to this item

https://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-2020120445573

Collections

[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK