Influence of Material Parameters and Process Parameters to Anisotropic Etching of Silicon in KOH

No Thumbnail Available
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Helsinki University of Technology | Diplomityö
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Date
1998
Major/Subject
Metalli- ja materiaalioppi
Mcode
Mak-45
Degree programme
Language
fi
Pages
81
Series
Abstract
Työn teoriaosassa tarkastellaan piin anisotrooppisen syöpymisen käyttökohteita ja anisotrooppisia syövytteitä. Teoriaosassa tarkastellaan myös piin kiderakennetta ja sen vaikutusta anisotrooppiseen syöpymiseen sekä KOH-syövytettä. Lisäksi tarkastellaan piin ja KOH:n käyttäytymistä, kun pii on kontaktissa KOH-syövytteen kanssa. Teoriaosassa esitellään kaksi anisotrooppisen syöpymisen mallia ja niistä saatavat päätelmät syöpymisen vaihtelusta. Erikseen esitellään KOH:n konsenkaation ja lämpötilan sekä KOH:iin liuenneen piin määrän ja liuenneiden epäpuhtauksien määrän sekä piin seosainemäärän (B) vaikutusta syöpymiseen ja anisotropiaan. Lisäksi teoriaosassa käsitellään maskimateriaaleja, anisotrooppisella syövytyksellä aikaansaatavia rakenteita, näissä rakenteissa ilmeneviä epätarkkuuksia sekä erilaisia kulmakompensaatiokuvioita. Työn kokeellisessa osassa esitellään kokeissa käytetyt koemateriaalit ja testimaski sekä koelaitteisto, koejärjestelyt ja mittausmenetelmät. Lisäksi esitellään neljässä eri KOH konsentraatiossa (10, 20, 30 ja 40 p-%) ja kahdessa eri lämpötilassa (65 ja 75 °C) tehtyjen kokeiden tulokset ja niiden tulkinnat. Kokeissa kartoitettiin runsaasti boorilla seostettujen (p+) piikiekkojen syöpymis- ja anisotropia-käyttäytymistä eri KOH-konsentraatioissa ja -lämpötiloissa. Saatujen syövytystulosten pohjalta tuloksissa esitetään KOH-konsentraation, -lämpötilan ja kiekkojen resistiivisyyden vaikutukset syöpymiskäyttäytymiseen sekä syöpymisen tasaisuuteen. Lisäksi tuloksissa määritetään nopeitten syöpyvät tasot sekä tarkastellaan syöpyneen pinnan laatua ja kulmakompensaatiokuvioiden toimivuutta. Tulosten tarkastelussa esitetään resistiivisyyden pienenemisen vaikutus anisotropiaa lisäävä tekijänä sekä nopeitten syöpyvän tason vaihtuminen KOH-konsentraation kasvaessa.
Description
Supervisor
Lindroos, Veikko
Thesis advisor
Haimi, Eero
Punkka, Eero
Keywords
Other note
Citation