Materiaali- ja prosessiparametrien vaikutus piin syöpymisen anisotropiaan KOH-syövytteessä

Thumbnail Image

URL

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Helsinki University of Technology | Diplomityö
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author

Authors

Date

1998

Department

Materiaali- ja kalliotekniikan osasto

Major/Subject

Metalli- ja materiaalioppi

Mcode

Mak-45

Degree programme

Language

fi

Pages

81

Series

Abstract

Työn teoriaosassa tarkastellaan piin anisotrooppisen syöpymisen käyttökohteita ja anisotrooppisia syövytteitä. Teoriaosassa tarkastellaan myös piin kiderakennetta ja sen vaikutusta anisotrooppiseen syöpymiseen sekä KOH-syövytettä. Lisäksi tarkastellaan piin ja KOH:n käyttäytymistä, kun pii on kontaktissa KOH-syövytteen kanssa. Teoriaosassa esitellään kaksi anisotrooppisen syöpymisen mallia ja niistä saatavat päätelmät syöpymisen vaihtelusta. Erikseen esitellään KOH:n konsenkaation ja lämpötilan sekä KOH:iin liuenneen piin määrän ja liuenneiden epäpuhtauksien määrän sekä piin seosainemäärän (B) vaikutusta syöpymiseen ja anisotropiaan. Lisäksi teoriaosassa käsitellään maskimateriaaleja, anisotrooppisella syövytyksellä aikaansaatavia rakenteita, näissä rakenteissa ilmeneviä epätarkkuuksia sekä erilaisia kulmakompensaatiokuvioita. Työn kokeellisessa osassa esitellään kokeissa käytetyt koemateriaalit ja testimaski sekä koelaitteisto, koejärjestelyt ja mittausmenetelmät. Lisäksi esitellään neljässä eri KOH konsentraatiossa (10, 20, 30 ja 40 p-%) ja kahdessa eri lämpötilassa (65 ja 75 °C) tehtyjen kokeiden tulokset ja niiden tulkinnat. Kokeissa kartoitettiin runsaasti boorilla seostettujen (p+) piikiekkojen syöpymis- ja anisotropia-käyttäytymistä eri KOH-konsentraatioissa ja -lämpötiloissa. Saatujen syövytystulosten pohjalta tuloksissa esitetään KOH-konsentraation, -lämpötilan ja kiekkojen resistiivisyyden vaikutukset syöpymiskäyttäytymiseen sekä syöpymisen tasaisuuteen. Lisäksi tuloksissa määritetään nopeitten syöpyvät tasot sekä tarkastellaan syöpyneen pinnan laatua ja kulmakompensaatiokuvioiden toimivuutta. Tulosten tarkastelussa esitetään resistiivisyyden pienenemisen vaikutus anisotropiaa lisäävä tekijänä sekä nopeitten syöpyvän tason vaihtuminen KOH-konsentraation kasvaessa.

Description

Supervisor

Lindroos, Veikko

Thesis advisor

Haimi, Eero
Punkka, Eero

Keywords

Other note

Citation

Permanent link to this item

https://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-2020120445210

Collections

[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK