Design of laboratory measurement and test system for a 3-axis micromechanical accelerometer

Loading...
Thumbnail Image
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Helsinki University of Technology | Diplomityö
Date
2009
Major/Subject
Optoelektroniikka
Mcode
S-104
Degree programme
Language
en
Pages
51 (+7)
Series
Abstract
Tässä työssä kehitettiin mittausjärjestelmä kolmiakseliselle kiihtyvyysanturille. Testijärjestelmää käytetään kiihtyvyysanturin karakterisointiin tuotekehitysvaiheessa. Testien tarkoituksena on löytää mahdolliset viat tuotteessa ja todentaa simulaatioiden osoittama suorituskyky. Kohinaominaisuudet, herkkyys ja poikkeama mitataan käyttämällä gravitaation tuottamaa kiihtyvyyttä referenssinä. Kiihtyvyysanturilla on digitaalisen takaisinkytkentäsilmukan ja herkkien mikromekaanisten antureiden ansiosta lineaarinen taajuuskaista tasajännitteestä muutamaan sataan hertsiin sekä erittäin alhaiset kohinatasot. Kirjallisuusosiossa kiihtyvyysanturin ominaisuudet on esitetty ja komponentin rakenne on selitetty. Lisäksi voimatakaisinkytkennässä käytetty Delta/Sigmamodulaatiotekniikka on kuvattu. Työ painottuu tehokkaan mittauslaitteistoa kontrolloivan ohjelmiston kehitykseen. jossa on käytetty modulaarisia ohjelmointimenetelmiä. Työn tavoitteet täytettiin, sillä mittauslaitteiston kyvykkyys todistettiin riittäväksi tuotteiden karakterisointiin. Joitain parannuksia ohjelmiston suoritusnopeuteen ja taustakohinan havaitsemiseen voisi jatkokehityksenä tehdä. Ohjelmistoa voidaan käyttää uudelleen tulevissa testausjärjestelmissä.
Description
Supervisor
Lipsanen, Harri
Thesis advisor
Velichkov, Mihail
Keywords
accelerometer, MEMS, MEMS, kiihtyvyysanturi, measurement system, mittausjärjestelmä, LabVIEW, LabVIEW
Other note
Citation