Elektronimikroskoopin käyttö litografialaitteena puolijohdeteknologiassa

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.authorMajamaa, Tero
dc.contributor.departmentTietotekniikan osastofi
dc.contributor.schoolTeknillinen korkeakoulufi
dc.contributor.schoolHelsinki University of Technologyen
dc.contributor.supervisorSinkkonen, Juha 
dc.date.accessioned2020-12-03T18:08:12Z
dc.date.available2020-12-03T18:08:12Z
dc.date.issued1994 
dc.format.extent81 
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/82276
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-2020120341114
dc.language.isofien
dc.programme.majorElektronifysiikkafi
dc.programme.mcodeS-69fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.titleElektronimikroskoopin käyttö litografialaitteena puolijohdeteknologiassafi
dc.type.okmG2 Pro gradu, diplomityö 
dc.type.ontasotMaster's thesisen
dc.type.ontasotPro gradu -tutkielmafi
dc.type.publicationmasterThesis 
local.aalto.digiauthask
local.aalto.digifolderAalto_41312
local.aalto.idinssi9116
local.aalto.openaccessno

Files

Collections

[dipl] Teknillinen korkeakoulu / TKK