Thin Films of Rare Eath Oxides by Atomic Layer Deposition

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorPutkonen, Matti 
dc.contributor.authorPäiväsaari, Jani
dc.contributor.departmentKemian tekniikan osastofi
dc.contributor.schoolTeknillinen korkeakoulufi
dc.contributor.schoolHelsinki University of Technologyen
dc.contributor.supervisorNiinistö, Lauri 
dc.date.accessioned2021-04-14T21:01:06Z
dc.date.available2021-04-14T21:01:06Z
dc.date.issued2003 
dc.format.extentix + 56 s. + liitt. 
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/106287
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-202104155577
dc.language.isoenen
dc.programme.majorEpäorgaaninen kemiafi
dc.programme.mcodeKem-35fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.titleThin Films of Rare Eath Oxides by Atomic Layer Depositionen
dc.titleHarvinaisten maametallien oksidiohutkalvojen valmistaminen atomikerroskasvatusmenetelmälläfi
dc.type.okmG3 Lisensiaatintutkimus 
dc.type.ontasotLicentiate thesisen
dc.type.ontasotLisensiaatintyöfi
local.aalto.digiauthask
local.aalto.digifolderAalto_15199
local.aalto.idinssi19627
local.aalto.openaccessno

Files

Collections

[lic] Teknillinen korkeakoulu / TKK