Hafniumoksidin atomikerroskasvatus ja fysikaaliset ominaisuudet

No Thumbnail Available
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Elektroniikan, tietoliikenteen ja automaation tiedekunta | Bachelor's thesis
Electronic archive copy is available locally at the Harald Herlin Learning Centre. The staff of Aalto University has access to the electronic bachelor's theses by logging into Aaltodoc with their personal Aalto user ID. Read more about the availability of the bachelor's theses.
Date
2009
Department
Major/Subject
Sähköfysiikka
Mcode
S3014
Degree programme
Elektroniikan ja sähkötekniikan tutkinto-ohjelma (EST)
Language
fi
Pages
29 s.
Series
Description
Supervisor
Turunen, Markus
Thesis advisor
Bosund, Markus
Keywords
ALD, atomikerroskasvatus, hafniumoksidi, HfO2, taitekerroin, läpilyöntikenttä
Other note
Citation