Mikropeilien kehitys ja käyttö

Thumbnail Image

Files

Rantamäki_Tuomas_2025.pdf (1.01 MB)

URL

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Sähkötekniikan korkeakoulu | Bachelor's thesis
Unless otherwise stated, all rights belong to the author. You may download, display and print this publication for Your own personal use. Commercial use is prohibited.

Authors

Date

2025-09-18

Department

Major/Subject

Elektroniikka ja sähkötekniikka

Mcode

ELEC3013

Degree programme

Sähkötekniikan kandidaattiohjelma

Language

fi

Pages

21

Series

Abstract

Tässä kandidaatintyössä tarkastellaan mikropeilien kehitystä, toimintaperiaatteita ja sovelluksia. Mikropeilit ovat osa MEMS-teknologiaa, jossa sähköenergia muunnetaan mekaaniseksi liikkeeksi mikromittakaavassa. Työssä käsitellään yleisimpiä valmistusmenetelmiä, kuten bulk- ja surface-mikrovalmistusta, sekä eri toimintamekanismeja: sähköstaattisia, sähkötermisiä, sähkömagneettisia ja pietsosähköisiä toimintamenetelmiä. Näiden erilaisten menetelmien avulla voidaan toteuttaa rakenteita, joilla on toisistaan poikkeavia ominaisuuksia kuten suuri skannausnopeus, laaja näkökenttä tai matala käyttöjännite. Sovelluskohteista työssä keskitytään erityisesti LiDAR-järjestelmiin, joissa mikropeilit mahdollistavat läsersäteen ohjaamisen ja tarkkojen pistepilvien luomisen. Lisäksi työssä tarkastellaan suorituskyvyn arviointiin käytettyjä hyvyyslukuja (FoM), joiden määrittelyssä ei ole vakiintunutta käytäntöä. Johtopäätöksenä havaittiin, että mikropeilit ovat keskeinen osa MEMS-teknologian sovelluksia, mutta niiden laajamittaisessa hyödyntämisessä on haasteita. Valmistusprosessit ovat monimutkaisia ja hitaita, mikä rajoittaa erityisesti kuluttajatuotteisiin laajentumista. Mikropeilien avulla voidaan pienentää järjestelmiä ja parantaa suorituskykyä, ja teknologian jatkokehitys voisi mahdollistaa kustannustehokkaampia sekä laajempaan käyttöön soveltuvia ratkaisuja.

Description

Supervisor

Turunen, Markus

Thesis advisor

Vuorinen, Vesa

Keywords

MEMS, micromirror, LiDAR

Other note

Citation

Permanent link to this item

https://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-202509237254

Collections

[kand] Sähkötekniikan korkeakoulu / ELEC