Fotolitografia valomikroskoopilla

dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorSelin, Jorma
dc.contributor.authorRomppainen, Henrik
dc.contributor.schoolSähkötekniikan korkeakoulufi
dc.contributor.supervisorTurunen, Markus
dc.date.accessioned2018-01-16T10:13:41Z
dc.date.available2018-01-16T10:13:41Z
dc.date.issued2018-01-05
dc.format.extent35
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/29611
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-201801161060
dc.language.isofien
dc.programmeSähkötekniikan kandidaattiohjelmafi
dc.programme.majorElektroniikka ja sähkötekniikkafi
dc.programme.mcodeELEC3013fi
dc.subject.keywordfotolitografiafi
dc.subject.keywordfotoresistifi
dc.subject.keywordLabVIEWfi
dc.titleFotolitografia valomikroskoopillafi
dc.typeG1 Kandidaatintyöfi
dc.type.dcmitypetexten
dc.type.ontasotBachelor's thesisen
dc.type.ontasotKandidaatintyöfi
Files