Fotolitografia valomikroskoopilla
| dc.contributor | Aalto-yliopisto | fi |
| dc.contributor | Aalto University | en |
| dc.contributor.advisor | Selin, Jorma | |
| dc.contributor.author | Romppainen, Henrik | |
| dc.contributor.school | Sähkötekniikan korkeakoulu | fi |
| dc.contributor.supervisor | Turunen, Markus | |
| dc.date.accessioned | 2018-01-16T10:13:41Z | |
| dc.date.available | 2018-01-16T10:13:41Z | |
| dc.date.issued | 2018-01-05 | |
| dc.format.extent | 35 | |
| dc.format.mimetype | application/pdf | en |
| dc.identifier.uri | https://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/29611 | |
| dc.identifier.urn | URN:NBN:fi:aalto-201801161060 | |
| dc.language.iso | fi | en |
| dc.programme | Sähkötekniikan kandidaattiohjelma | fi |
| dc.programme.major | Elektroniikka ja sähkötekniikka | fi |
| dc.programme.mcode | ELEC3013 | fi |
| dc.subject.keyword | fotolitografia | fi |
| dc.subject.keyword | fotoresisti | fi |
| dc.subject.keyword | LabVIEW | fi |
| dc.title | Fotolitografia valomikroskoopilla | fi |
| dc.type | G1 Kandidaatintyö | fi |
| dc.type.dcmitype | text | en |
| dc.type.ontasot | Bachelor's thesis | en |
| dc.type.ontasot | Kandidaatintyö | fi |