MEMS-komponenttien luotettavuus ja vaurioanalyysi

dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorVuorinen, Vesa
dc.contributor.authorBanh, Cuong
dc.contributor.schoolSähkötekniikan korkeakoulufi
dc.contributor.supervisorPaulasto-Kröckel, Mervi
dc.date.accessioned2016-11-02T09:46:50Z
dc.date.available2016-11-02T09:46:50Z
dc.date.issued2016-10-31
dc.format.extent91 + 7
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/23376
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-201611025477
dc.language.isofien
dc.locationP1fi
dc.programmeElektroniikka ja sähkötekniikkafi
dc.programme.majorElektroniikka ja sovelluksetfi
dc.programme.mcodeS3007fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.subject.keywordmikroelektromekaaninen järjestelmäfi
dc.subject.keywordluotettavuusfi
dc.subject.keywordvaurioanalyysifi
dc.subject.keywordympäristörasitustekijätfi
dc.subject.keywordMEMS-markkinatfi
dc.titleMEMS-komponenttien luotettavuus ja vaurioanalyysifi
dc.titleThe reliability and failure analysis of MEMS componentsen
dc.typeG2 Pro gradu, diplomityöfi
dc.type.okmG2 Pro gradu, diplomityö
dc.type.ontasotMaster's thesisen
dc.type.ontasotDiplomityöfi
dc.type.publicationmasterThesis
local.aalto.idinssi55008
local.aalto.openaccessno

Files