MEMS-komponenttien luotettavuus ja vaurioanalyysi
dc.contributor | Aalto-yliopisto | fi |
dc.contributor | Aalto University | en |
dc.contributor.advisor | Vuorinen, Vesa | |
dc.contributor.author | Banh, Cuong | |
dc.contributor.school | Sähkötekniikan korkeakoulu | fi |
dc.contributor.supervisor | Paulasto-Kröckel, Mervi | |
dc.date.accessioned | 2016-11-02T09:46:50Z | |
dc.date.available | 2016-11-02T09:46:50Z | |
dc.date.issued | 2016-10-31 | |
dc.format.extent | 91 + 7 | |
dc.identifier.uri | https://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/23376 | |
dc.identifier.urn | URN:NBN:fi:aalto-201611025477 | |
dc.language.iso | fi | en |
dc.location | P1 | fi |
dc.programme | Elektroniikka ja sähkötekniikka | fi |
dc.programme.major | Elektroniikka ja sovellukset | fi |
dc.programme.mcode | S3007 | fi |
dc.rights.accesslevel | closedAccess | |
dc.subject.keyword | mikroelektromekaaninen järjestelmä | fi |
dc.subject.keyword | luotettavuus | fi |
dc.subject.keyword | vaurioanalyysi | fi |
dc.subject.keyword | ympäristörasitustekijät | fi |
dc.subject.keyword | MEMS-markkinat | fi |
dc.title | MEMS-komponenttien luotettavuus ja vaurioanalyysi | fi |
dc.title | The reliability and failure analysis of MEMS components | en |
dc.type | G2 Pro gradu, diplomityö | fi |
dc.type.okm | G2 Pro gradu, diplomityö | |
dc.type.ontasot | Master's thesis | en |
dc.type.ontasot | Diplomityö | fi |
dc.type.publication | masterThesis | |
local.aalto.idinssi | 55008 | |
local.aalto.openaccess | no |