Metalliliitostekniikat MEMS:ien integroinnissa

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorRautiainen, Antti 
dc.contributor.authorKinnunen, Jere 
dc.contributor.schoolSähkötekniikan korkeakoulufi
dc.contributor.supervisorTurunen, Markus 
dc.date.accessioned2015-01-14T10:45:27Z
dc.date.available2015-01-14T10:45:27Z
dc.date.issued2014-12-15 
dc.format.extent46 
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/14924
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-201501151093
dc.language.isofien
dc.programmeElektroniikka ja sähkötekniikka ESTfi
dc.programme.majorElektroniikkafi
dc.programme.mcodeS3027fi
dc.subject.keywordMEMSfi
dc.subject.keywordmetalliliitosfi
dc.subject.keywordjuottaminenfi
dc.subject.keywordSLIDfi
dc.subject.keywordeutektinenfi
dc.subject.keywordpiisirufi
dc.titleMetalliliitostekniikat MEMS:ien integroinnissafi
dc.typeG1 Kandidaatintyöfi
dc.type.dcmitypetexten
dc.type.ontasotBachelor's thesisen
dc.type.ontasotKandidaatintyöfi

Files

Collections

[kand] Sähkötekniikan korkeakoulu / ELEC