Selektiivinen atomikerroskasvatus
| dc.contributor | Aalto-yliopisto | fi |
| dc.contributor | Aalto University | en |
| dc.contributor.advisor | Miikkulainen, Ville | |
| dc.contributor.author | Lind, Jussi | |
| dc.contributor.school | Kemiantekniikan korkeakoulu | fi |
| dc.contributor.supervisor | Rautkari, Lauri | |
| dc.date.accessioned | 2020-06-23T09:10:44Z | |
| dc.date.available | 2020-06-23T09:10:44Z | |
| dc.date.issued | 2020-05-13 | |
| dc.format.extent | 24 | |
| dc.format.mimetype | application/pdf | en |
| dc.identifier.uri | https://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/45045 | |
| dc.identifier.urn | URN:NBN:fi:aalto-202006234002 | |
| dc.language.iso | fi | en |
| dc.programme | Kemiantekniikan kandidaattiohjelma | fi |
| dc.programme.major | Bio- ja kemiantekniikka | fi |
| dc.programme.mcode | CHEM3012 | fi |
| dc.subject.keyword | atomikerroskasvatus | fi |
| dc.subject.keyword | selektiivinen atomikerroskasvatus | fi |
| dc.subject.keyword | selektiivisyys | fi |
| dc.subject.keyword | käyttökohde | fi |
| dc.subject.keyword | menetelmä | fi |
| dc.title | Selektiivinen atomikerroskasvatus | fi |
| dc.type | G1 Kandidaatintyö | fi |
| dc.type.dcmitype | text | en |
| dc.type.ontasot | Bachelor's thesis | en |
| dc.type.ontasot | Kandidaatintyö | fi |