Optoelektronisten piirilevyjen valmistus massatuotannollisin menetelmin
Loading...
URL
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Helsinki University of Technology |
Diplomityö
Unless otherwise stated, all rights belong to the author. You may download, display and print this publication for Your own personal use. Commercial use is prohibited.
Authors
Date
2005
Department
Major/Subject
Elektroniikan valmistustekniikka
Mcode
S-113
Degree programme
Language
fi
Pages
108
Series
Abstract
Tämä diplomityö tehtiin osana TEKESin ja elektroniikkateollisuuden rahoittamaa OHIDA (Optics on Future Printed Circuit Boards in High Speed Data Applications)-projektia. Työn tavoitteena oli tutkia sähköisten piirilevyjen tuotannossa hyödynnetyn infrastruktuurin soveltuvuutta optisten valokanavapiirilevyjen massavalmistukseen paneelivalottimen osalta. Työn kirjallisessa osassa tarkastellaan valokanavapiirilevyjen valmistustekniikat ja mittausmenetelmät massatuotannon näkökulmasta. Lisäksi käsitellään optisilla kytkentärajapinnoilla tapahtuvia ilmiöitä. Diplomityön kokeellisessa osassa valokanavapiirilevyt valmistettiin litografisesti ytimenpeittomenetelmällä kahden eri valotuslaitteen avulla. Mikropiirivalottimella valmistetut valokanavapiirilevyt toimivat vertailunäytteinä paneelivalottimella valmistetuille näytteille. Valottimien teho- ja intensiteettiarvot mitattiin ja säädettiin vastaavanlaisiksi samanlaisten prosessointiolosuhteiden varmistamiseksi. Valokanavien valmistuksessa käytettiin kahta kaupallista epoksipohjaista polymeeriä. Työssä tutkittiin myös piirilevyvalmistajien suosimien filmimaskien soveltuvuutta valokanavien valmistukseen sekä eri litografiamuotojen vaikutusta kanavien suorituskykyihin. Erityistä huomiota kiinnitettiin valokanavarakenteiden karakterisointiin ja valmistusprosessin kriittisten tekijöiden arviointiin. Työssä suoritettujen testien perusteella piirilevyvalmistajille tyypillinen paneelivalotin soveltui valokanavien valmistukseen ainakin signaalin vaimennustulosten osalta. Toisaalta paneelivalottimen kollimoimattoman valonlähteen todettiin aiheuttavan muutoksia valokanavaydinten muotoihin. Lisäksi kuviointialueen ja maskin välinen kontakti osoittautui tärkeäksi tekijäksi valokanavien toimivuuden kannalta.Description
Supervisor
Kivilahti, JormaThesis advisor
Immonen, MarikaKeywords
waveguide, valokanava, mass production, massatuotanto, panel exposure, paneelivalotin, lithography, litografia, polymer, polymeeri