Tyhjiölaitteiston suunnittelu ja toteutus MEMS-resonaattoreiden interferometriseen kuvantamiseen

dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorKokkonen, Kimmo
dc.contributor.authorKangas, Lauri
dc.contributor.schoolInformaatio- ja luonnontieteiden tiedekuntafi
dc.contributor.supervisorKaivola, Matti
dc.date.accessioned2012-10-09T09:53:29Z
dc.date.available2012-10-09T09:53:29Z
dc.date.issued2008
dc.format.extent27 s.
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/5516
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-201305165898
dc.language.isofien
dc.programmeTeknillisen fysiikan ja matematiikan tutkinto-ohjelma (TFM)fi
dc.programme.majorTeknillinen fysiikkafi
dc.programme.mcodeF3005
dc.subject.keywordtyhjiölaitteistofi
dc.subject.keywordMEMSfi
dc.subject.keywordresonaattorifi
dc.subject.keywordlaserfi
dc.subject.keywordinterferometrifi
dc.titleTyhjiölaitteiston suunnittelu ja toteutus MEMS-resonaattoreiden interferometriseen kuvantamiseenfi
dc.typeG1 Kandidaatintyöfi
dc.type.dcmitypetexten
dc.type.ontasotKandidaatintyöfi
dc.type.ontasotBachelor's thesisen

Files

Original bundle

Now showing 1 - 1 of 1
Loading...
Thumbnail Image
Name:
bachelor_kangas_lauri_2008.pdf
Size:
560.78 KB
Format:
Adobe Portable Document Format