Piinitridin syntetisointi RF-plasmassa

dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.authorKarlemo, Ben
dc.contributor.departmentProsessi- ja materiaalitekniikan osastofi
dc.contributor.schoolTeknillinen korkeakoulufi
dc.contributor.schoolHelsinki University of Technologyen
dc.contributor.supervisorJalkanen, Heikki
dc.date.accessioned2020-12-03T13:37:25Z
dc.date.available2020-12-03T13:37:25Z
dc.date.issued1990
dc.format.extentv + 75 s. + liitt. 34
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/79425
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-2020120338263
dc.language.isosven
dc.programme.majorMetallurgiafi
dc.programme.mcodeMak-37fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.titlePiinitridin syntetisointi RF-plasmassafi
dc.titleSyntetisering av kiselnitrid i RF-plasmasv
dc.type.okmG2 Pro gradu, diplomityö
dc.type.ontasotMaster's thesisen
dc.type.ontasotPro gradu -tutkielmafi
dc.type.publicationmasterThesis
local.aalto.digiauthask
local.aalto.digifolderAalto_44406
local.aalto.idinssi5913
local.aalto.openaccessno

Files