Optical AWG demultiplexer and microfabrication process development

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.authorSavolainen, Kari Antero
dc.contributor.departmentMateriaalitekniikan osastofi
dc.contributor.schoolTeknillinen korkeakoulufi
dc.contributor.schoolHelsinki University of Technologyen
dc.contributor.supervisorLehto, Ari 
dc.date.accessioned2021-04-14T21:19:56Z
dc.date.available2021-04-14T21:19:56Z
dc.date.issued2005 
dc.format.extentvi + 89 s. + liitt. 6 
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/106515
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-202104155805
dc.language.isoenen
dc.programme.majorMetalli- ja materiaalioppifi
dc.programme.mcodeMak-45fi
dc.rights.accesslevelclosedAccess
dc.subject.keywordAWGen
dc.subject.keywordWDMen
dc.subject.keywordSOI waferen
dc.subject.keywordlithographyen
dc.subject.keywordRIE etchingen
dc.titleOptical AWG demultiplexer and microfabrication process developmenten
dc.type.okmG3 Lisensiaatintutkimus 
dc.type.ontasotLicentiate thesisen
dc.type.ontasotLisensiaatintyöfi
local.aalto.digiauthask
local.aalto.digifolderAalto_52562
local.aalto.idinssi31486
local.aalto.openaccessno

Files

Collections

[lic] Teknillinen korkeakoulu / TKK