Mikropeilit 3D-skannauksessa

dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorVuorinen, Vesa
dc.contributor.authorKruuti, Anneka
dc.contributor.schoolSähkötekniikan korkeakoulufi
dc.contributor.supervisorTurunen, Markus
dc.date.accessioned2021-06-01T08:14:25Z
dc.date.available2021-06-01T08:14:25Z
dc.date.issued2021-05-13
dc.format.extent24
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/107829
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-202106017083
dc.language.isofien
dc.programmeSähkötekniikan kandidaattiohjelmafi
dc.programme.majorElektroniikka ja sähkötekniikkafi
dc.programme.mcodeELEC3013fi
dc.subject.keywordMEMSfi
dc.subject.keywordmikropeilitfi
dc.subject.keyword3D-skannausfi
dc.subject.keywordmikroskanneritfi
dc.subject.keywordMOEMSfi
dc.titleMikropeilit 3D-skannauksessafi
dc.typeG1 Kandidaatintyöfi
dc.type.dcmitypetexten
dc.type.ontasotBachelor's thesisen
dc.type.ontasotKandidaatintyöfi

Files