Mikromekaaninen oskillaattori
No Thumbnail Available
URL
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Helsinki University of Technology |
Diplomityö
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Instructions for the author
Authors
Date
2001
Department
Major/Subject
Elektronifysiikka
Mcode
S-69
Degree programme
Language
fi
Pages
vi + 70 s. + liitt. 6
Series
Abstract
Tässä diplomityössä tutustuttiin kapasitiivisesti kytketyllä mikromekaanisella resonaattorilla stabiloidun sähkömekaanisen oskillaattorin teoriaan: resonaattorin mekaniikkaan ja vahvistimen elektroniikkaan. Esitetyn teorian pohjalta suunniteltiin ja rakennettiin sähkömekaaninen 500 kHz:n Pierce-oskillaattori. Prototyypin toiminta demonstroitiin mittauksin. Prototyypin mittauksissa todennettiin mikromekaanisen oskillaattorin värähtelytaajuuden ja -amplitudin riippuvuus resonaattorin biasjännitteestä; mittaustulokset olivat ennusteiden mukaiset. Oskillaattorin värähtelytarkkuutta kuvaava vaihekohina mitattiin tarkoitukseen suunnitellulla laitteistolla. Mitattu vaihekohina oli -123dBc@SkHz. Prototyypissä käytettiin palkkiresonaattoria, jonka epälineaarisuuden seurauksena oskillaattorin ulostulo oli säröytynyt. Työssä pohdittiin myös fysikaalisia rajoja palkkiresonaattoriin perustuvan mikromekaanisen oskillaattorin suorituskyvylle.Description
Supervisor
Kuivalainen, PekkaThesis advisor
Åberg, MarkkuKeywords
micromechanics, mikromekaniikka, electromechanics, sähkömekaniikka, resonator, resonaattori, oscillator, oskillaattori, capacitive coupling, kapasitiivinen kytkentä