Lämpötilan vaikutus TiO2 ohutkalvon rakenteeseen atomikerroskasvatuksessa

Simple item page
dc.contributorAalto-yliopistofi
dc.contributorAalto Universityen
dc.contributor.advisorPerros, Alexander 
dc.contributor.authorKilpi, Olli-Pekka 
dc.contributor.schoolSähkötekniikan korkeakoulufi
dc.contributor.supervisorTurunen, Markus 
dc.date.accessioned2013-04-30T10:21:53Z
dc.date.available2013-04-30T10:21:53Z
dc.date.issued2012 
dc.format.extent30 s. 
dc.format.mimetypeapplication/pdf 
dc.identifier.urihttps://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/9889
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:aalto-201305162877
dc.language.isofien
dc.programmeElektroniikan ja sähkötekniikan tutkinto-ohjelma (EST)fi
dc.programme.majorSähköfysiikkafi
dc.programme.mcodeS3025 
dc.subject.keywordAtomikerroskasvatusfi
dc.subject.keywordALDfi
dc.subject.keywordTiO2fi
dc.subject.keywordlämpötilafi
dc.titleLämpötilan vaikutus TiO2 ohutkalvon rakenteeseen atomikerroskasvatuksessafi
dc.typeG1 Kandidaatintyöfi
dc.type.dcmitypetexten
dc.type.ontasotKandidaatintyöfi
dc.type.ontasotBachelor's thesisen

Files

Collections

[kand] Sähkötekniikan korkeakoulu / ELEC